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ITO 薄膜的制備方法有蒸發、濺射、反應離子鍍、化學氣相沉積、熱解噴涂等, 但使用多的是反應磁控濺射法。
ITO膜層的厚度不同，膜的導電性能和透光性能也不同。一般來說，在相同的工藝條件和性能相同的PET基底材料的情況下，ITO膜層越厚，PET-ITO膜的表面電阻越小，光透過率也相應的越小。
